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機(jī)械密封件研磨之化學(xué)機(jī)械研磨的研磨耗材
研磨耗材分為以下幾大類:研磨液(Slurry)、研磨墊(Pad)、金剛石盤(Disk)、研磨頭(Head)、清洗刷(Brush)和化學(xué)清洗劑與保護(hù)劑(Chemical)等。
機(jī)械密封件研磨之化學(xué)機(jī)械研磨的特點(diǎn)
機(jī)械密封件研磨之化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)綜合了化學(xué)研磨和機(jī)械研磨的優(yōu)勢(shì)。單純的化學(xué)研磨,表面精度較高,損傷低,完整性好,不容易出現(xiàn)表面/亞表面損傷,但是研磨速率較慢,材料去除效率較低,不能修正表面型面精度,研磨一致性比較差;單純的機(jī)械研磨,研磨一致性好,表面平整度高,研磨效率高,但是容易出現(xiàn)表面層/亞表面層損傷,表面粗糙度值比較低。化學(xué)機(jī)械研磨吸收了兩者各自的優(yōu)點(diǎn),可以在保證材料去除效率的同時(shí),獲得較較好的表面,得到的平整度比單純使用這兩種研磨要高出1-2個(gè)數(shù)量級(jí),并且可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)到原子級(jí)的表面粗糙度。
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